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當前位置:首頁產品中心光電光譜測試系統顯微光譜系統Mini Pro顯微光譜系統

顯微光譜系統

產品簡介

Mini Pro 顯微光譜系統是一款緊湊型、低成本的顯微光譜系統,專為需要高空間分辨率光譜信息的科研人員而設計。該顯微光譜系統采用模塊化設計,使研究人員能夠快速切換波長范圍與實驗配置,更換波長組件操作簡易,五分鐘內即可完成
除光致發光(PL)分析外,該系統還可進行顯微拉曼光譜,顯微反射光譜和顯微光電流的采集與分析。

產品型號:Mini Pro
更新時間:2026-08-26
廠商性質:生產廠家
訪問量:126
詳細介紹在線留言

? 工作原理

1. 激光聚焦在樣品表面,光譜儀采集樣品的發射光譜。

2. 樣品經 X、Y 軸掃描,獲取每個坐標點的光致發光光譜;Z 軸調節物鏡,保持樣品聚焦。

3. 采集數百萬條光譜后,分析軟件提取峰值能量與強度,生成高分辨率、高對比度物理圖像。

顯微光譜系統

? 核心功能覆蓋

該顯微光譜系統采用模塊化設計,使研究人員能夠快速切換波長范圍與實驗配置,更換波長組件操作簡易,五分鐘內即可完成

除光致發光(PL)分析外,該系統還可進行顯微拉曼光譜,顯微反射光譜和顯微光電流的采集與分析。

顯微光譜系統


核心優勢

      ? 模塊化設計與多功能集成

模塊化設計                    

多功能集成                    

Mini Pro 顯微光譜系統采用通用型光學設計和模塊化設計,研究人員可通過更換波長組件模塊,快速切換波長范圍和實驗配置。                    

顯微光致發光(PL)分析                    

顯微拉曼(Raman)光譜分析                    

顯微光電流分析                    

X、Y、Z 三軸掃描                    

電致發光分析                    

TRPL熒光壽命分析                    

低溫測量分析                    

? 自動對焦

自動對焦                    

關鍵參數                    

自研技術,適配樣品粗糙 / 傾斜 / 彎曲表面,激光光斑始終聚焦                    

寬光譜:200–1700 nm                    

空間分辨率:亞微米級(0.35 μm)                    

光譜采集量:數百萬條                    

內置防護罩,隔絕溫差 / 灰塵 / 環境光干擾                    

軟件:快速峰值擬合                    

成本:經濟實用,支持定制                    


顯微光譜系統



技術規格

類別                    

具體參數                    

激發波長                    

266–980 nm                    

樣品XY掃描臺                    

行程范圍:5mm或10mm                    

重復精度:20nm                    

物鏡Z掃描臺                    

行程范圍:400μm                    

重復精度:5nm                    

采集時間                    

(積分時間10ms時)                    

100μm×100μm, 0.5μm步長:6min                    

5mm×5mm,50μm步長:2min                      

5mm×5mm,5μm步長:3h                    

樣品觀察                    

LED、單色相機                    

電源                    

120V、60Hz                    

數據接口                    

USB 3.0                    

尺寸重量                    

43cm×38cm×58cm,14Kg                    



顯微光譜系統


|  軟件分析系統

GPU分析加速                    

采用GPU加速峰擬合技術,                    

可在一小時內完成數百萬條光譜的擬合運算,                    

支持對多重特征峰進行擬合,                    

用戶可選擇使用標準函數或自定義函數。                    

數據分析功能                    

快速提取每條光譜的峰值能量與強度,                    

生成高分辨率、高對比度物理圖像,                    

偽彩色圖像直觀展示特征峰參數                    

(如能量單位eV)                    


典型應用與科研案例

? 綠色發光二極管 (LED) 缺陷識別

下圖為綠色發光二極管 (LED) 的光致發光 (PL) 圖譜,分別展示了該綠色LED缺陷處發光峰的強度與峰值能量。

該實驗是通過將環氧樹脂覆蓋在LED芯片上形成的一個透明的、呈半球形的凸點進而測量完成的。

顯微光譜系統

? 半導體合金成分與相分布

通過峰值分析,可用于分析材料的物理性質,如化學成分。

下圖展示了碲鋅鎘(CdZnTe)中鋅 (Zn) 含量的空間分布變化。

顯微光譜系統

? 低溫發致發光測量

該低溫測量組件包括—杜瓦瓶、真空泵、溫度控制器等——開箱即可采集數據。

顯微光譜系統

? 一體實現光致發光與拉曼測量

顯微光譜系統


   對紫外線發色和區域進行了峰值拉曼光譜分析,發現了硅-碳氫 (Si-CH) 鍵結構的污染物。

   From“Photoluminescence and Raman mapping of β- Ga2O3," AIP Advances (2021)"

   光致發光 (PL) 圖譜揭示了氧化鎵(Ga?O?) 材料中的缺陷分布。

   From“Localized UV emitters on the surface of  Ga2O3," Scientific Reports (2020)

顯微光譜系統

(a)為TiO2的拉曼圖譜,圖中標注了銳鈦礦、金紅石和無定形相的區域。

(b)為選定區域的拉曼光譜。From “Localized phase transition of TiO2 thin films  induced by sub-bandgap laser irradiation," J. Vac. Sci. Tech. A (2021).


波長組件模塊

Near IR                    

激光器                    

975 nm 激光器,30-100 mW                    

光譜儀                    

NIRQuest+, 900-1700 nm                    

Near IR,Raman                    

激光器                    

785 nm 激光器,250 mW                    

光譜儀                    

QE Pro, 100-2800 cm-1                    

Red                    

激光器                    

635 nm 激光器,1-2 mW                    

光譜儀                    

Maya Pro,635-1060 nm                    

Green                    

激光器                    

532 nm 激光器,4-5 mW                    

光譜儀                    

Maya Pro,532-960nm                    

Green,Raman                    

激光器                    

532 nm 激光器,30-140 mW                    

光譜儀                    

QE Pro, 90-4000 cm-1                    

Violet                    

激光器                    

405 nm 激光器,1-2 mW                    

光譜儀                    

Maya Pro,405-840 nm                    

Near UV                    

激光器                    

349 nm 激光器,0-20 mW                    

光譜儀                    

Maya Pro,349-780 nm                    

Deep UV                    

激光器                    

266 nm 激光器,5 mW                    

光譜儀                    

Maya Pro,266-700 nm                    

即用型模塊,安裝調試簡單,支持定制化組件


| 系統選型


? Standard Microscope  標準顯微系統

u 核心定位:基礎入門配置

u 主要特點:不含光譜儀

u 適用場景:基本顯微觀察需求

顯微光譜系統


? Mini Pro Microscope  顯微光譜系統

u 核心定位:主力科研型號

u 主要特點:集成光譜分析功能,支持PL、拉曼、光電流等多種測量模式

u 適用場景:全面的材料光譜分析研究


顯微光譜系統

? Premium Microscope  晶圓級顯微光譜系統

u 核心定位:專業配置

u 主要特點:針對晶圓級樣品優化,具備更大掃描范圍

顯微光譜系統




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